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【cnzj5u】三氯氢硅小记

上 传 人：2355908741@qq.com
上传时间：2019/1/14 19:02:05
资源评价：★★★
文档类型：doc
资源扣点：1
资源大小：243K
资源大类：装备制造大类
下载次数：2次
适用专业：机械加工技术

资源简介

三氯氢硅小记
问题一
多晶硅生产中，氮气的要求是怎么样的？
一般分1.2MPa，0.6MPa,0.3MPa三种，主要用于管道与设备的吹扫，置换，另外对与氯硅烷灭火有很好的效果。
主要看氧含量和露点，氧含量小于1000ppm,露点-40℃左右。

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