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表面处理技术概论(主编刘光明-化工版)课件:第5章 气相沉积技术02

上 传 人:2635415982@qq.com
上传时间:2013/2/1 16:50:36
资源评价:★★★★
文档类型:ppt
资源扣点:1
资源大小:175K
资源大类:装备制造大类
下载次数:5
适用专业:金属表面处理技术应用

资源简介

5.2.1化学气相沉积技术的特征
5.2.2化学气相沉积反应物质源
5.2.3化学气相沉积沉积层质量影响因素
5.2.4化学气相沉积装置

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