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表面处理技术概论(主编刘光明-化工版)课件:第5章 气相沉积技术01

上 传 人:2635415982@qq.com
上传时间:2013/2/1 16:50:15
资源评价:★★★★
文档类型:ppt
资源扣点:1
资源大小:622K
资源大类:装备制造大类
下载次数:7
适用专业:金属表面处理技术应用

资源简介

气相沉积技术是通过气相材料或使材料气化后沉积于固体材料或制品(基片)表面并形成薄膜,从而使基片获得特殊表面性能的一种新技术。近40年来,气相沉积技术发展迅速,已在现代工业中得到广泛应用并展示了更为广阔的发展和应用前景。

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