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第1章光机电一体化实用技术概述第2章传感器技术第3章光电探测器技术第4章数字采集技术第5章信息处理技术第6章伺服系统设计第7章光机电一体化系统的机械机构第8章光机电一体化系统设计方法和实例参考文献
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